產(chǎn)品特性：
- 具有±10帕的高精度
- 0.1帕的高分辨能力
- 體積為12.5ml、重量為15g
- 壓力檢測(cè)范圍：50 ～ 150 kPa
- 工作溫度范圍：-20 ～ +70 ℃
應(yīng)用范圍：
- 氣象觀測(cè)中大氣壓的高精度測(cè)試
- 大氣壓變化的高低差的測(cè)試
- 室內(nèi)門窗等開關(guān)的內(nèi)部壓力變化測(cè)試
- 高精度氣壓測(cè)試等新領(lǐng)域
Epson Toyocom公司開發(fā)出小型，高性能的水晶壓力傳感器，采用獨(dú)創(chuàng)的QMEMS技術(shù)制造出的壓力傳感結(jié)構(gòu)，以此開發(fā)出具有±10帕（約一萬(wàn)分之一氣壓）的高精度與0.1帕的高分辨能力的高性能且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對(duì)壓力傳感器。
預(yù)定2009年度將其商品化。
壓力傳感器在通常情況下存在下述技術(shù)課題：小型化時(shí)會(huì)造成性能下降；追求高性能時(shí)又不得不增大構(gòu)造。
Epson Toyocom在壓力檢測(cè)單元中采用音叉型晶體單元，由此得到安定度高的振蕩頻率，從而實(shí)現(xiàn)了具有高精度及高分辨能力的水晶壓力傳感器。
在此之上又使用QMEMS技術(shù)新開發(fā)出獨(dú)創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造，使同時(shí)具有小型及高性能——這兩種相對(duì)性能的產(chǎn)品的實(shí)現(xiàn)變?yōu)榭赡堋?/p>
為此，可以下述領(lǐng)域(例如：氣象或安全方面)為代表，在使用壓力傳感器的各種儀器的小型化及性能提高上做出巨大貢獻(xiàn)。
- 用于氣象觀測(cè)中大氣壓的高精度測(cè)試
- 用于大氣壓變化的高低差(以約1cm為單位的高度)的測(cè)試
- 用于測(cè)試室內(nèi)門窗等開關(guān)而造成的微小的內(nèi)部壓力變化
而且是通過搭載于周圍機(jī)器，可應(yīng)用于高精度氣壓測(cè)試等新領(lǐng)域的可行性的產(chǎn)品。
現(xiàn)在，Epson Toyocom正將本產(chǎn)品所采用的獨(dú)創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造不斷推廣到其它能夠適用于各種用途的水晶壓力傳感器的開發(fā)上，今后亦將不斷推進(jìn)使用基于QMEMS技術(shù)的超精微加工技術(shù)、晶體振蕩器中醞釀出的高安定振蕩電路技術(shù)以及高精度檢測(cè)技術(shù)的進(jìn)化，創(chuàng)造出更高程度的高性能化和小型化。
主要規(guī)格
項(xiàng)目
規(guī)格
壓力檢測(cè)范圍
50 ～ 150 kPa （絕對(duì)壓力）
綜合壓力精度
±10 Pa
分辨能力
0.1 Pa
工作溫度范圍
-20 ～ +70 ℃
輸出接口
RS-232C
外部尺寸規(guī)格
25 × 25 × H20 mm（固定部分除外）
