MEMS技術特征：
- 微型化、以硅為主要材料
- 機械電氣性能優良、可批量生產、集成化
- 多學科交叉、多技術融合的特點
MEMS技術的應用范圍：
- 開辟了一個全新醫療電子產業
MEMS是受微電子技術啟發并在其基礎上發展起來的，是微電子加工技術和多種微機械加工技術相融合而形成的微型系統。完整的MEMS是由感知外界信息(力、熱、光、生、磁、化等)的微傳感器、控制對象的微執行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統。MEMS具有集成電路系統的許多優點，如微型化、以硅為主要材料，機械電氣性能優良、可批量生產、集成化等，同時又集約了機械、材料、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科發展的尖端成果，具有多學科交叉，多技術融合的特點。
在醫療電子應用領域，MEMS技術的目標是把信息的獲取、處理和執行集成在一起，組成具有多功能的微型系統，這樣不僅可以降低機電系統的成本，而且還可以完成大尺寸機電系統所不能完成的任務，也可以嵌入大尺寸系統中，從而大幅度地提高系統的自動化、智能化和可靠性水平。MEMS技術開辟了一個全新醫療電子產業。
大多數業內觀察家預測，未來5年MEMS醫療器件的銷售額將呈迅速增長之勢，年平均增加率約為21%，因此對醫療電子產業的發展提供了極好的機遇。
MEMS已從實驗室走向市場，在醫療電子領域的應用日益普遍，其產品不僅開拓了極為廣泛的應用領域且具有十分強大的市場競爭力，醫療電子和診斷設備為MEMS的應用提供了更大的舞臺。
