【導讀】ON與Teledyne Imaging Sensors合作，利用先進的CMOS工藝專利和技術制造出突破性的天文圖像傳感器，新傳感器系統(tǒng)能夠捕獲的圖像的分辨率，可說是紅外天文觀測向前發(fā)展的重要一步。
推動高能效創(chuàng)新的ON與Teledyne Imaging Sensors合作，制造出用于天文研究的超大接合點讀取集成電路(ELS ROIC)。Teledyne設計的H4RG-15圖像傳感器是長達20年開發(fā)活動的最新一代成果，由美國國家科學基金會(NSF)、美國國家航空航天局(NASA)及Teledyne內(nèi)部撥款資助，旨在開發(fā)用于天文研究的更大更強紅外傳感器。
達1,600萬像素的H4RG-15包含Teledyne混合到CMOS讀取電路中的的碲鉻汞(HgCdTe)檢測器材料，是有史以來所制造用于紅外天文應用的最大傳感器。開發(fā)H4RG-15的一項使能技術，是使用ON專有的180 nm工藝技術來制造及可靠地產(chǎn)出63 mm x 63 mm接合點的CMOS讀取集成電路(ROIC)。這ROIC尺寸如此之大，以至一個200 mm晶圓僅能容納4個ROIC裸片。
這些ELS ROIC的高良率可歸功于ON晶圓制造團隊及公司定制晶圓代工分部的專知和技術及良率提升成果。HR4G-15讀取ROIC在ON美國俄勒岡州Gresham的晶圓制造廠制造。ON藉項目展現(xiàn)了公司能夠成功地生產(chǎn)良率符合下一代傳感器要求的H4RG-15圖像傳感器。
H4RG-15已經(jīng)安設在美國夏威夷大學的Mauna Kea觀測站，以確認此傳感器在望遠鏡觀測條件下的性能。擔任NSF資助的H4RG-15開發(fā)項目首席科學家之夏威夷大學天文學院Donald Hall博士說：“使用這新傳感器系統(tǒng)能夠捕獲的圖像的分辨率，可說是紅外天文觀測向前發(fā)展的重要一步。”
H4RG-15是Teledyne所開發(fā)的極成功的HxRG系列圖像傳感器的最新一代產(chǎn)品，用于領先的地面及太空天文觀測站，包括哈勃太空望遠鏡、詹姆斯•韋伯太空望遠鏡及各主要地面觀測站。
Teledyne的H4RG-15高級項目經(jīng)理Richard Blank說：“H4RG-15對下一代地面望遠鏡至關重要。今后還將使用H4RG-15以設計30米級極大望遠鏡(ELT)和將來的太空任務。”
Teledyne Imaging Sensors太空及天文副總裁James Beletic說：“我們極重視與ON的合作，這合作對H4RG-15的成功開發(fā)至關重要。”
ON定制晶圓代工分部業(yè)務部經(jīng)理Rocke Acree說：“H4RG-15 ROIC的成功有力地印證了我們公司的晶圓代工業(yè)務能力及CMOS成像工藝能力。為Teledyne Imaging Sensors生產(chǎn)的H4RG-15 ROIC是有史以來最大的CMOS芯片之一。ON為此項目采用的創(chuàng)新接合工藝，令我們能夠開發(fā)較小構(gòu)建模塊，以生產(chǎn)物理尺寸更大的傳感器。這項目彰顯了ON能夠為市場提供的技術能力的廣度和深度，能夠符合即使是最嚴格的應用要求。”
